等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是一种广泛应用于薄膜材料制备的技术。该工艺顺利获得在低温下利用...
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2025
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是一种重要的薄膜制备技术。该技术利用等离子体的能量促进气体...
2025
在现代材料科学中,薄膜材料的性能和应用不断是研究的热点。PECVD(等离子体增强化学气相沉积)作...
2024
在新材料技术的快速开展中,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术作为一种重要的薄膜沉积技术,...
2024
半导体材料是现代电子技术的基础,其创新与应用直接影响着电子设备的性能和功能。随着科技的不断进步,...
2024
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